I. نظرة عامة على الميزات الوظيفية والهيكلية
الوظيفة الأساسية: جهاز اختبار مقاومة الكتلة المعدنية ST2258H هو جهاز قياس شامل متعدد الأغراض يقيس بشكل احترافي المقاومة (الكتلة)/المقاومة المربعة لعينات الرقائق المعدنية بناءً على مبدأ طريقة السكاكين الأربعة المتوازية (طريقة الأربعة أطراف).
المكونات الأساسية: تتكون أداة الاختبار من جهاز اختبار المقاومة الجماعية ST2258H (الوحدة الرئيسية) + منصة اختبار SZT-H1 (قطب كهربائي متوازي بأربعة شفرات) + برنامج الكمبيوتر لاختبار المقاومة الجماعية ST2258H ووحدات أخرى.
وفقًا للمعيار: "GBT 5230-1995 رقائق النحاس الكهربائي، الملحق C - طريقة اختبار الأداء الكهربائي - طريقة اختبار المقاومة الجماعية"، وبالإشارة إلى "GBT 3048.2-94 - طريقة اختبار الأداء الكهربائي للأسلاك والكابلات - اختبار المقاومة للمواد الموصلة المعدنية"
المزايا والميزات: تم تجهيز نظام الاختبار هذا ببرامج الكمبيوتر، مما يجعل إعداد المعلمات واختبار البيانات والعمليات الأخرى بسيطة وواضحة. إنه يعمل بكامل طاقته، بما في ذلك اختبار البيانات وجمعها وتحريرها وحفظها وطباعتها والاستعلام التاريخي.
يمكن تشغيل هذا النظام إما عبر الإنترنت باستخدام برامج الكمبيوتر أو دون الاتصال بالإنترنت كأداة فردية، تتميز بوظائف بسيطة وشاملة.
نطاق التطبيق: هذا الجهاز مناسب لاختبار أداء المقاومة الجماعية/المقاومة/المقاومة المربعة للرقائق المعدنية في مصانع الرقائق المعدنية ومواد الأفلام، ومصانع المكثفات، ووحدات البحث العلمي، والكليات والجامعات، وما إلى ذلك. كما أنه ينطبق على اختبارات المقاومة والمقاومة المربعة للأغشية الرقيقة والموصلات ذات الطبقة الرقيقة ومواد أشباه الموصلات باستخدام طريقة السكين الأربعة المتوازية.
ثانيا. المعلمات التقنية
2.1 نطاق قياس النظام واستبانته
(1) نطاق اختبار المقاومة/المقاومة الجماعية (مع أخذ طاولة الاختبار SZT-H1 كمثال
(السمك d<2mm، العرض w<50mm)
قيمة قياس المقاومة الأساسية: 1.0×10 -6 إلى 1.2×10 ³ Ω*cm
الدقة: 1.0×10 -7 إلى 1.0×100 Ω*سم.
(2) نطاق اختبار المقاومة المربعة * (مع أخذ طاولة الاختبار SZT-H1 كمثال)
قياس عرض الفيلم: 1 مم ≥B ≥50 مم
قيمة قياس المقاومة المربعة الأساسية: 1.0×10 -6 إلى 1.2×10 ³ Ω/□
الدقة: 1.0×10 -7 إلى 1.0×100 Ω/□.
2.2 معلمات طاولة الاختبار SZT-H1:
⑴ تباعد شفرة الجهد: 20 مم ± 0.2٪، طول الشفرة 60 مم
⑵ تباعد الشفرة الحالي: 70 مم، طول الشفرة: 60 مم
⑶ الأبعاد الخارجية لمقعد الاختبار: 360×200×240 (الطول × العرض × الارتفاع)
2.3 معلمات جهاز اختبار ST2258H
⑴ جهد مصدر الطاقة: U = 220 فولت/110 فولت ± 5% اختياري، f = 50/60 هرتز.
(2) كفاءة الطاقة: ≥ 30 واط
⑶ الأبعاد الخارجية: 220×245×105 (الطول × العرض × الارتفاع)